静电吸盘

一文告诉你什么是半导体常见工艺之静电吸附

今天，我们特别要对其中的#热问计划#静电吸附进行更详细的解析。静电吸盘在半导体设备中十分常见，它被广泛用作半导体制造工艺（PVD、CVD、ETCH）中固定硅片。详细了解其原理，构造，有助于优化相关工艺。